Speciální technologie

Skupina se zabývá výzkumem technologie mikro– a nano– litografie s využitím elektronového litografu.

Skupina Elektronových technologií se zabývá výzkumem moderních technologií zpracování (především) kovových materiálů a konstrukcí potřebných technologických zařízení. Mezi rozvíjené technologie patří zejména svařování elektronovým svazkem, vakuové pájení a vývoj a výroba vakuových a tlakových elektrických průchodek. Další odvozené technologie zahrnují např. obrábění elektronovým svazkem. Jsou prováděny experimenty s aditivními metodami a s lokálním tepelným zpracováním materiálů s využitím elektronového svazku.

Skupina se zabývá magnetronovým naprašováním a charakterizací tenkých vrstev. Vytváříme povlaky (např.Al, Si ,Mo, Ti, Ni, Ag, C, ITO, Nb, W, TiN, Si3N4, SiO2 a jejich kombinace) i pro souběžně řešené projekty jiných týmů ústavu. V naší laboratoři byla zvládnuta příprava multivrstvých systémů použitelných v oblasti rentgenové optiky s nanometrovými tloušťkami jednotlivých dvouvrstev o sumární tloušťce desetin mikrometru s přesností v oblasti desenin nm.