Tenké vrstvy

Skupina se zabývá magnetronovým naprašováním a charakterizací tenkých vrstev. Vytváříme povlaky (např.Al, Si ,Mo, Ti, Ni, Ag, C, ITO, Nb, W, TiN, Si3N4, SiO2 a jejich kombinace) i pro souběžně řešené projekty jiných týmů ústavu. V naší laboratoři byla zvládnuta příprava multivrstvých systémů použitelných v oblasti rentgenové optiky s nanometrovými tloušťkami jednotlivých dvouvrstev o sumární tloušťce desetin mikrometru s přesností v oblasti desenin nm. Spolupráce s ovrstvovacími centry v ČR vedla k zkoumání perspektivních povlaků uhlíku, nitridu uhlíku a nanostrukturovaných multivrstev a nanokompozitů na bázi uhlíku pro nástroje. V současné době jsme jediným pracovištěm v ČR nabízející charakterizaci tvrdých otěruvzdorních povlaků dynamickým impaktním testerem.