Technologie přípravy struktur v tenkých vrstvách kovů a dielektrik na křemíkových nebo skleněných podložkách. Kombinovaná elektronová litografie.
Leptací techniky: mokré leptání, plasmatické leptání, reaktivní iontové leptání (RIE).
Rozptyl elektronů při interakci s pevnou fází v průběhu expozice elektronovým svazkem. |