Elektronová litografie

Skupina elektronové litografie (EBL) se zabývá výzkumem v oblasti mikrolitografických technologií s využitím elektronového litografu.

Projekty
Oblasti výzkumu
Nabízené technologie
Publikace

Odkazy
Videoprezentace
Externí odkazy

Činnost skupiny EBL je zaměřena zejména na velkoplošné mikrostruktury pro difrakční optické elementy pro formování laserového svazku, na submikronmetrové difrakční holografické struktury pro průmyslové aplikace holografie a na struktury v tenkých vrstvách kovů a dielektrik na křemíkových podložkách pro biosenzory a vodivostní chemické senzory. Nezbytnou součástí tohoto výzkumu je řešení off-line a on-line software pro řízení expozice při zahrnutí problematiky zpracovávání velkého objemu dat, omezení projevu rozptylových jevů při expozici elektronovým svazkem a omezení vlivu rozměrového zkreslení vlivem optických vad zobrazovací soustavy litografu a vlivem teplotních driftů. Součástí řešení je i modelování a simulace pro optimalizace parametrů vytvářených struktur a pro usnadnění jejich návrhu.

Skupina elektronové litografie

V Ý Z K U M A V Ý V O J
Oblasti výzkumu:

A P L I K A Č N Í S F É R A
Nabízené technologie:

Projekty

Členové skupiny participují na řešení těchto výzkumných projektů (k 1. 1. 2023):

Oblasti výzkumu — V Ý Z K U M A V Ý V O J

Elektronové litografy
— zařízení pro záznam obrazců do tenké vrstvy elektronového rezistu
Mikrolitografie
— technologické postupy pro přípravu planárních struktur
Planární nanostruktury
— příprava tenkých mikro a nano struktur pro rozmanité aplikace
Průmyslová holografie
— vývoj difrakčních a holografických prvků pomocí zápisu elektronovým svazkem

Nabízené technologie — A P L I K A Č N Í S F É R A

Technologie elektronové litografie
- Technologie kalibrovaných rozměrových normálů pro mikroskopii
- Technologie přípravků pro testování rozlišení optických mikroskopů a soustav
- Technologie fotošablon pro speciální použití
Technolgie difrakčních prvků
- Technologie difrakčních šablon pro expozici vláknových mřížek
- Technologie difraktivních opticky variabilních obrazových zařízení
- Technologie planárních zonálních struktur

Publikace

Publikační výsledky skupiny EBL od roku 2010; aktuální výsledky za rok 2021 resp. 2022.

Vybraný výsledek. Přispěli jsme k realizaci experimentálního systému zachycujícího chování fázové přeměny nekonečného řádu.
Umělé magnetické systémy umožňují zkoumání a testování modelů statické mechaniky, které jsou často inspirovány přírodními látkami. V této studii jsme se zabývali zkoumáním nízkoenergiové fyziky F modelu za použití 2D magnetické mřížky tvořené spojenou čtvercovou sítí s kruhovými otvory v uzlových bodech. Změna velikosti průměru otvoru, který lze vnímat jako mikromagnetický ovladač experimentálního simulátoru, umožňuje dosáhnutí různých režimů zkoumaného modelu. Právě tato strategie umožnila experimentální přiblížení se k nízkoenergiové fyzice F modelu a zkoumání jeho vlastností včetně chování fázové přeměny nekonečného řádu.

PRL 2022

Výsledky analýzy recipročního prostoru magnetických konfigurací jako funkce průměru děr, průměr se zvětšuje zleva doprava. Obrázek otisknut na titulní straně časopisu PRL (červenec 2022).
Magnetické strukturní faktory jsou získány na základě magnetických konfigurací naměřených na mřížkách s různým průměrem otvorů v reálném prostoru. Jednotlivé faktory jsou získány zprůměrováním čtyř konfigurací pro daný rozměr otvoru. Škála intenzity je pro všechny obrázky stejná.

Schánilec, V. – Brunn, O. – Horáček, M. – Krátký, S. – Meluzín, P. – Šikola, T. – Canals, B. – Rougemaille, N. Approaching the Topological Low-Energy Physics of the F Model in a Two-Dimensional Magnetic Lattice. Physical Review Letters. Roč. 129, č. 2 (2022), č. článku 027202. ISSN 0031-9007. E-ISSN 1079-7114.