Výzkum

Systém hlubokého reaktivního iontového leptání Oxford Instruments PlasmaLab Cryo ICP 380 PECVD

Popis:
Zařízení hlubokého reaktivního leptání slouží k anizotropnímu iontovému leptání mikrostruktur do křemenných případně dilektrických materiálů s vysokou kolmostí leptaných stěn (difraktivní prvky, MEMS systémy, mikrofluidní systémy).

Výkonový laser IPG YLS2000 se svařovací, skenovací a dělící hlavou

Popis:

Syntezátor optických frekvencí (optický hřeben) pro měření stability frekvence vysoce koherentních laserů v infračervené a viditelné oblasti

Popis:

Vakuová napařovací aparatura SYRUSpro 710 (Leybold Optics) pro depozice tenkých reflexních a antireflexních vrstev na optické komponenty.

Popis:

Tescan VEGA TS 5130MM – rastrovací elektronový mikroskop s motorizovaným manipulátorem

Elektronový rastrovací mikroskop JSM-6700F s ultravysokým rozlišením – nástroj pro sledování nanomateriálů a nanostruktur.
Je vhodný pro pozorování jemných struktur, jako jsou multivrstvé povlaky a nanočástice produkované nanotechnologiemi. Díky režimu velmi pomalých elektronů je vhodný i pro pozorování nevodivých vzorků.

Rastrovací elektronový mikroskop MAGELLAN 400 se subnanometrovým rozlišením – nástroj pro analýzu nanomateriálů a nanostruktur je vhodný pro pozorování jemných struktur, jako jsou multivrstvé povlaky a nanočástice produkované nanotechnologiemi. Dále umožňuje pozorovat vzorky pro transmisní elektronovou mikroskopii a nevodivé vzorky.