Výzkum

Ramanovský mikrospektrometr Renishaw In Via Reflex

Popis:

Speciálně upravený vysokorozlišovací environmentální rastrovací elektronový mikroskop QUANTA 650 FEG

Systém hlubokého reaktivního iontového leptání Oxford Instruments PlasmaLab Cryo ICP 380 PECVD

Popis:
Zařízení hlubokého reaktivního leptání slouží k anizotropnímu iontovému leptání mikrostruktur do křemenných případně dilektrických materiálů s vysokou kolmostí leptaných stěn (difraktivní prvky, MEMS systémy, mikrofluidní systémy).

Výkonový laser IPG YLS2000 se svařovací, skenovací a dělící hlavou

Popis:

Syntezátor optických frekvencí (optický hřeben) pro měření stability frekvence vysoce koherentních laserů v infračervené a viditelné oblasti

Popis:

Vakuová napařovací aparatura SYRUSpro 710 (Leybold Optics) pro depozice tenkých reflexních a antireflexních vrstev na optické komponenty.

Popis:

Tescan VEGA TS 5130MM – rastrovací elektronový mikroskop s motorizovaným manipulátorem