Podrobné znalosti mechanismů rozptylu elektronů a jeho praktických důsledků pro velmi nízké energie mají zásadní význam nejen pro měřicí techniky, ale také pro vývoj nových materiálů pro elektronické přístroje nové generace. Určování nepružné střední volné dráhy (IMFP) elektronů v objemových materiálech je aktuálním tématem ve spektroskopii. Informace o IMFP pro velmi nízké energie elektronů, E ≤ 100 eV, jsou nedostatečné. Navíc pro moderní dvojrozměrné (2D) materiály které jsou zajímavé pro polovodičový průmysl nejsou k dispozici.