Numerical analysis of ion flux and concentration for high-efficiency detection of signal electrons in ESEM/A-ESEM

583005

Numerical analysis of ion flux and concentration for high-efficiency detection of signal electrons in ESEM/A-ESEM

Základní výzkum interakcí elektronů/iontů s plyny a pevnými látkami, zejména generování, multiplikace a vysoce účinná detekce sekundárních, zpětně odražených a procházejících elektronů za podmínek řízené koncentrace a toku kladných iontů, bude studován pomocí numerických simulací.

Řešitel v ÚPT: 
doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D., DSc.
Řešitel: 
Neděla Vilém - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
26-20858S
Datum od: 
1. 1. 2026
Datum do: 
31. 12. 2028