Numerical analysis of ion flux and concentration for high-efficiency detection of signal electrons in ESEM/A-ESEM
583005
Numerical analysis of ion flux and concentration for high-efficiency detection of signal electrons in ESEM/A-ESEM
Základní výzkum interakcí elektronů/iontů s plyny a pevnými látkami, zejména generování, multiplikace a vysoce účinná detekce sekundárních, zpětně odražených a procházejících elektronů za podmínek řízené koncentrace a toku kladných iontů, bude studován pomocí numerických simulací.
Řešitel v ÚPT:
doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D., DSc.
Řešitel:
Neděla Vilém - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura:
GA ČR
Reg. č.:
26-20858S
Datum od:
1. 1. 2026
Datum do:
31. 12. 2028










