Vakuová pec/CVD reaktor/TDS

Popis:

Programovatelná vakuová pec vybavená dvěma plynovými průtokoměry a hmotnostním spektrometrem může být využita pro depozici grafénu z chemických par, žíhání vzorků až do 1100 °C či studium teplotní stability preparátů tzv. termodesorpční spektrometrií. Vakuum v peci je řádově     10-4 Pa.

Parametry:

• Max. pracovní teplota 1100 °C, teplotní náběh 2÷30 °C/min.

• Kvadrupólový hmotnostní spektrometr 1÷100 amu

• Plynové průtokoměry Alicat Scientific 50/25 sccm 

• Plyny dusík/vodík/metan

Kontakt: