Vakuová napařovací aparatura SYRUSpro 710

Vakuová napařovací aparatura SYRUSpro 710 (Leybold Optics) pro depozice tenkých reflexních a antireflexních vrstev na optické komponenty.

Popis:

Optické interferenční vrstvy se používají pro požadované vytváření spektrálních křivek odrazivosti a propustnosti nebo fází komplexního odrazu a koeficientu přenosu. Nejběžnější aplikace tenkých vrstev jsou úzkopásmové nebo achromatické antireflexní vrstvy, neabsorbující zrcadla, monochromatické filtry, dichroické barevné filtry, studené zrcadla či tepelné filtry. Dalšími příklady takových aplikací tenkých vrstev jsou polarizátory, depolarizátory nebo různé definované děliče paprsků. Vakuová napařovací aparatura dovoluje vyrobit tyto tenké vrstvy pro specializované optické komponenty např. z oboru laserů a optických sestav pro interferometrii. Aparatura postupným nanášením vytváří strukturu, která je složena ze střídavých vrstev s vysokým a nízkým indexem lomu. Aparatura je ideální pro realizaci vrstev od viditelného spektra (VIS) až po infračervený (IR) spektrální rozsah. Zařízení je také vybaveno velice přesným monitoringem tloušťky deponovaných vrstev na bázi křemičitých krystalů, který zajišťuje vynikající soulad mezi teoretickým návrhem vrstvy a její následnou realizací. Součástí aparatury je také podpora iontového deponování a planetový rotační systém pro zajištění požadované kvality a homogenity realizovaných tenkých vrstev.

Kontakt:

e-mail: oulehla@isibrno.cz