UHV rastrovací elektronový mikroskop

Popis:

Unikátní ultravysokovakuový elektronový mikroskop umožňuje pozorování vzorků i při velmi nízkých energiích dopadajících elektronů. Přístroj slouží k detailnímu studiu čistých povrchů pomalými elektrony ve vakuu v řádu 10-8 Pa. K dispozici je zobrazení jak v elektronech odražených od preparátu, tak v elektronech prošlých tenkým preparátem. Dále je mikroskop vybaven spektrometrem Augerových elektronů charakteristických pro prvkové složení vzorku. Studované preparáty lze in-situ očistit v přípravné komoře.

Vybavení:

Ultravysokovakuová pozorovací komora rastrovacího elektronového mikroskopu je vybavena tzv. katodovou čočkou, řadou detektorů pro práci v odraženém i prošlém módu, Augerovským spektrometrem a hmotnostním spektrometrem. Studium povrchů velmi pomalými elektrony vyžaduje dokonale čisté povrchy vzorků, jaké lze připravit in-situ v preparační komoře pomocí iontového děla či žíhání až do 1000 °C. Pro snímání i analýzu dat byl vyvinut speciální software umožňující automatické nahrávání a zpracování sérií obrázků.

Vybrané aplikace:

Mapování krystalové orientace, precizní zobrazení krystalické struktury, zobrazení vnitřního pnutí v materiálu, měření hustoty dopantu v polovodičích, diagnostika tenkých vrstev, měření tloušťky 2D krystalů s přesností na 1 atom, měření propustnosti preparátů při nízkých energiích, atd.

Kontakt: