UHV elektronový mikroskop typu SLEEM se spektrometrem TOF
Unikátní ultravysokovakuový rastrovací elektronový mikroskop pracující při energii elektronů až do jednotek elektronvoltů, vybavený spektrometrem na principu doby průletu (time of flight, TOF).
Popis:
Jde o světově unikátní přístroj vyvíjený v Ústavu přístrojové techniky pro elektronovou mikroskopii v ultravysokovakuovém prostředí. Hlavní aplikační využití spočívá ve studiu velmi čistých a definovaných povrchů a vrstev pomocí zobrazení a analýzy velmi pomalých odražených i prošlých elektronů. Pomalé elektrony umožňují s vysokým kontrastem a extrémní selektivitou informace zobrazit zrna v polykrystalických materiálech, tenké povrchové vrstvy, dopované oblasti v polovodiči, dvourozměrné krystaly a jiné. Odražené elektrony jsou analyzovány co do úhlového rozložení jejich emise, elektrony prošlé dostatečně tenkými preparáty jsou analyzovány co do úhlového i energiového rozložení. V obou případech je k dispozici mikroskopické zobrazení signálem tříděným co do směru a rychlosti elektronů.
Vybavení mikroskopu:
Ultravysokovakuová aparatura je vybavena tryskou se Schottkyho katodou, která v kombinaci s brzdným polem nad preparátem umožňuje pracovat s libovolně nízkou energií dopadu elektronů na vzorek včetně zrcadlového režimu s odrazem nad povrchem. Mezi elektronovou tryskou a elektrostatickým objektivem jsou umístěny dva detektory, integrální a polovodičový, které slouží k detekci signálních elektronů pohybujících se v blízkosti optické osy. Nad vzorkem se nachází detektor elektronů odražených pod vyššími úhly od optické osy. V komoře mikroskopu jsou další dva detektory prošlých elektronů: výsuvný scintilační detektor a dvourozměrný polohově citlivý detektor. Systém byl adaptován pro režim spektrometru typu time of flight. Laboratoř je vybavena systémem pro kompenzaci rušivých magnetických polí a mikroskop je podložen antivibračními bloky.
Kontakt:
