Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů

6531

Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů

Cílem projektu je využít principu detekce úhlového rozdělení signálních elektronů v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu plošným polovodičovým obrazovým detektorem ke studiu povrchů krystalických preparátů a k vysoce přesnému lokálnímu měření tloušťky velmi tenkých povrchových vrstev. Pro dosažení tohoto cíle se navrhuje použít koncepci mikroskopu s relativně vysokoenergiovým zdrojem elektronů, jejichž energie je snížena na velmi nízkou hodnotu v elektrostatickém poli katodové čočky těsně nad povrchem preparátu. Pro praktickou realizaci navrhujeme adaptovat ultravakuovou aparaturu zkonstruovanou speciálně pro studium povrchů pevných materiálů. Navrhujeme doplnit tuto aparaturu separátorem primárního a signálního svazku elektronů vlastní originální konstrukce a mnohokanálovým detektorem signálních elektronů vlastni konstrukce. Jádrem detektoru je ztenčený zpětně osvětlovaný přímo elektrony bombardovaný CCD snímač, který dosahuje vysokého zesílení již pro energie dopadajících elektronů do 5 keV. Detektor je optimalizován pro co nejrychlejší akvizici plošného rozdělění elektronů signálního svazku z každého bodu rastru na vzorku v SEM a současně dosažení maximálního dynamického rozsahu nasnímaného obrazového signálu. Principem vzniku kontrastu budou vlnově-optické jevy jako difrakce na krystalové mřížce, interference s dělenou amplitudou nebo interference s dělenou vlnoplochou, a kontrast obrazu získáme jako rozdíl mezi nasnímanými difrakčními obrazci z jednotlivých bodů preparátu.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Miroslav Horáček, Ph.D.
Řešitel: 
Miroslav Horáček - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/03/1575
Datum od: 
1. 1. 2003
Datum do: 
31. 12. 2005