Příprava a charakterizace tenkých vrstev s předem definovaným nehomogenním profilem indexu lomu

6411

Příprava a charakterizace tenkých vrstev s předem definovaným nehomogenním profilem indexu lomu

Vrstvy s proměnným indexem lomu jsou v poslední době předmětem intenzívního výzkumu, a to jak z hlediska problémů spojených s jejich definovanou přípravou, tak i z hlediska jejich mnohostranného použití v optických soustavách, které jde za rámec možností standardní technologie používající vrstev homogenních. Cílem projektu je vypracování technologie přípravy těchto vrstev a dále jejich charakterizace pomocí dostupných optických (spektrálně a úhlově závislá elipsometrie, měření reflektivity a transmise atd.) i dalších diagnostických postupů (RBS, AES, XPS). Za výchozí technologii považujeme rf magnetronové naprašování umožňující depozice několika různých materiálů bez porušení vakua. Výhodná je rovněž možnost kombinace různých plynů v pracovní komoře. Charakterizace nehomogenních vrstev je dosud otevřeným problémem, v literatuře dosud byly popsány pouze některé speciální případy.
Řešitel v ÚPT: 
Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Řešitel: 
Jiří Hrdina - FYZIKÁLNÍ ÚSTAV AV ČR
Spoluřešitelé: 

Jaroslav Sobota - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA AV ČR
Reg. č.: 
IA210133
Datum od: 
1. 1. 1993
Datum do: 
31. 12. 1994