Naprašovačka Aurion

Popis:

Aparatura umožňuje nanášet povlaky Ag, Al, Al2O3, AlN, Au, B, B4C, C, Co, Cu, Fe, Ge, ITO, Mg, Mo, Nb, NbN, Nb2O5, Ni, NiCr, Sc, Si, SiC, SiO2, Si3N4, Ti, TiO2, TiN a W, Y2O3, Zr, ZrN a jejich kombinace. Toto zařízení umožňuje produkovat malé série nebo jednotlivé kusy s maximálním průměrem 100 mm a tloušťkou 20 mm. Naprašovačka je vybavena třemi magnetrony s průměrem terče 152 mm (typická tloušťka terče je 6 mm) pro naprašování až tří různých materiálů během jednoho vakuového cyklu. V naší laboratoři byla zvládnuta příprava multivrstvých systémů použitelných v oblasti EUV a rentgenové optiky s nanometrovými tloušťkami jednotlivých dvouvrstev o sumární tloušťce desetin mikrometru s přesností tloušťky dvouvrstev v oblasti desetin nanometru.

Kontakt: