Měření hustoty dopantu v polovodiči

Pomalými elektrony lze měřit jak hustotu dopantu v dopovaných obrazcích polovodičových struktur, tak zajistit vysoký kontrast těchto obrazců pro měření jejich kritických rozměrů. Mikrosnímky sejmuté při energii elektronů ve stovkách eV vykazují kontrast úměrný hustotě dopantu, jehož absolutní stupnici lze kalibrovat na zkušebním obrazci. Obrazce dopované na vodivost p-typu jsou ve snímcích vždy světlé. V oblasti jednotek eV se projevuje dynamický mechanismus poskytující extrémně vysoký kontrast obrazců řiditelný dávkou elektronů.

Výzkumná skupina: 
Mikroskopie a spektroskopie povrchů

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1486

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490
Měření hustoty dopantu v polovodiči | Ústav přístrojové techniky

Chyba

Chybová zpráva

Recoverable fatal error: Argument 1 passed to xmlsitemap_node_create_link() must be an instance of stdClass, boolean given, called in /var/www/docs_drupal/sites/all/modules/xmlsitemap/xmlsitemap_node/xmlsitemap_node.module on line 28 and defined ve funkci xmlsitemap_node_create_link() (řádek: 194 v souboru /var/www/docs_drupal/sites/all/modules/xmlsitemap/xmlsitemap_node/xmlsitemap_node.module).
Na stránce došlo k neočekávané chybě. Zkuste to později.