Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii; studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ

5433

Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii; studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ

Úkolem projektu je dokončit stavbu zařízení pro aplikace fokusovaného iontového svazku s energií 50 V - 5 keV v oblasti 100 ém - 5 mm pro modifikace povrchu a depozice tenkých vrstev při tlacích pod 10-6 mb a pro studium depozičních procesů a analýzu povrchů (vrstev) metodami založenými na emisi sekundárních iontů a rozptylu dopadajících iontů (SIMS, LEISS). Aplikační část projektu bude věnována naprašování a přímé depozici tenkých vrstev s vybranými polovodivými, optickými a mechanickými vlastnostmi.
Řešitel v ÚPT: 
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Řešitel: 
Tomáš Šikola - Vysoké učení technické v Brně
Spoluřešitelé: 

Bohumila Lencová - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Agentura: 
GA ČR
Reg. č.: 
GA202/94/0565
Datum od: 
1. 1. 1994
Datum do: 
31. 12. 1996

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1486

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490

Warning: Cannot modify header information - headers already sent by (output started at /var/www/docs_drupal/includes/common.inc:2777) in /var/www/docs_drupal/includes/bootstrap.inc on line 1490
Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii; studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ | Ústav přístrojové techniky

Chyba

Chybová zpráva

Recoverable fatal error: Argument 1 passed to xmlsitemap_node_create_link() must be an instance of stdClass, boolean given, called in /var/www/docs_drupal/sites/all/modules/xmlsitemap/xmlsitemap_node/xmlsitemap_node.module on line 28 and defined ve funkci xmlsitemap_node_create_link() (řádek: 194 v souboru /var/www/docs_drupal/sites/all/modules/xmlsitemap/xmlsitemap_node/xmlsitemap_node.module).
Na stránce došlo k neočekávané chybě. Zkuste to později.