Depozice interferenčních vrstev vakuovým napařováním elektronovým svazkem a spektrofotometrické měření jejich spektrální odrazivosti a propustnosti.

Tenké vrstvy připravujeme vakuovým napařováním elektronovým svazkem na zařízení Balzers BAK550 vybaveném dvěma elektronovými děly. Podložky lze před depozicí ohřívat. Zařízení umožňuje produkovat malé série substrátů s maximálním průměrem 180 mm nebo obdélníky 170 mm x 120 mm. Jsme schopni deponovat následující materiály: TiO2, SiO2, Ta2O5, ZrO2, CeO2, HfO2, Y2O3, MgO, Al2O3, MgF2, Na3AlF6.

 

Aplikace:
Aplikacemi jsou interferenční filtry pro viditelnou, blízkou UV a blízkou IR oblast světelného spektra. Příklady filtrů jsou:

 

  • antireflexní vrstvy
  • neabsorbující zrcadla
  • studená zrcadla
  • tepelné filtry
  • barevné (dichroické) filtry
  • hradící a pásmové filtry
  • děliče světla
  • polarizátory
  • nepolarizující odražeče
  • monochromatické filtry

 

Měření spektrální odrazivosti a propustnosti provádíme na spektrofotometru Varian Cary 5E.