Časopis Jordan Journal of Physics /srpen 2020/ vydává Univerzita v Yarmouku

Na titulní stránce srpnového čísla předního Jordánského fyzikálního časopisu „Jordan Journal of Physics“  (JJP) vydávaného Univerzitou v Yarmouku, se objevily obrázky z bakalářské práce studenta Michala Drozda. Michal Drozd je čerstvý absolvent oboru Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně, který zpracovával svoji bakalářskou práci na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, ve skupině Elektronové litografie pod vedením Dr. Alexandra Knápka.

V srpnovém čísle časopisu JJP byl otištěn odborný článek s názvem „Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer“, který sumarizuje výstupy studentovy bakalářské práce, zabývající se defektoskopií nanesené vrstvy olymethylmetakrylátu (PMMA) na křemíkových deskách. V rámci své bakalářské práce student navrhl jednoduché zařízení, založené na rastrování kamerou nad nanesenou desku, které zobrazí defekty na povrchu nanesené vrstvy PMMA a za pomoci moderních algoritmů analýzy obrazu automaticky vymezí oblasti nevhodné pro litografické expozice a uloží jejich souřadnice. Jelikož zařízení není primárně určeno pro polovodičový průmysl, jedná se o unikátní zařízení, zatím komerčně nedostupné. V současnosti zařízení slouží primárně na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, ale do budoucna není vyloučená jeho komercionalizace.

Odkaz na výše zmíněné číslo časopisu JJP