Vývoj ultravysokovakuového mikroskopu typu SLEEM

UHV SLEEM se skládá z pozorovací a preparační komory a vakuové propusti. Pracovní tlak je v řádu 10-8 Pa. Pozorovací komora je vybavena autoemisním zdrojem elektronů, elektrostatickou čočkou s brzdným polem pro práci s velmi pomalými elektrony, hmotnostním spektrometrem, manipulátorem umožňujícím přesný náklon ve dvou směrech pro seřízení brzdného pole, detektory prošlých, odražených a rozptýlených elektronů a analyzátorem energií Augerových elektronů. Preparační komora je osazena iontovým zdrojem pro odprašování povrchů a zařízeními pro napařování vrstev a vyhřívání vzorku.