Tenké vrstvy - Základní informace

Skupina se zabývá magnetronovým naprašováním a charakterizací tenkých vrstev. Vytváříme povlaky (např.Al, Si ,Mo, Ti, Ni, Ag, C, ITO, Nb, W, TiN, Si3N4, SiO2 a jejich kombinace) i pro souběžně řešené projekty jiných týmů ústavu. V naší laboratoři byla zvládnuta příprava multivrstvých systémů použitelných v oblasti rentgenové optiky s nanometrovými tloušťkami jednotlivých dvouvrstev o sumární tloušťce desetin mikrometru s přesností v oblasti desenin nm. Spolupráce s ovrstvovacími centry v ČR vedla k zkoumání perspektivních povlaků uhlíku, nitridu uhlíku a nanostrukturovaných multivrstev a nanokompozitů na bázi uhlíku pro nástroje. V současné době jsme jediným pracovištěm v ČR nabízející charakterizaci tvrdých otěruvzdorních povlaků dynamickým impaktním testerem.

Ústav přístrojové techniky Akademie věd České republiky, v. v. i.
Královopolská 147
612 00 Brno
Česká republika
IČ: 68081731
Tel.: +420 541 514 111
Email: institute@isibrno.cz
mapa
Přihlášení k newsletteru
© Ústav přístrojové techniky Akademie věd České republiky, v. v. i.