Tenké vrstvy připravujeme vakuovým napařováním elektronovým svazkem na zařízení Balzers BAK550 vybaveném dvěma elektronovými děly. Podložky lze před depozicí ohřívat. Zařízení umožňuje vrstvit malé série (především skleněných) kruhových substrátů s maximálním průměrem 180mm nebo obdélníků až do rozměru 170mm x 120mm.

Jsme schopni deponovat následující materiály:
TiO₂, SiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, HfO₂, MgF₂, Y₂O₃, ZrO₂, Na₃AlF₆